ユーザーの立場に立った表面分析の新展開（番外最終回）FIBとrf-GD併用による半導体素子断面試料の作成－完聖なSEM－friendly surfaceを求めて－

摘要

これまでSEMはTEMに比べ"分解能が低く、得られる情報も少ない"と考えられてきた。 しかし、電子をエネルギーおよび角度別、すなわち情報別に取り分けることができる高分解能FESEM、Carl Zeiss Ultra 55の登場はこうした従来の考えに根本的な変吏を迫っている。