電界効果型a-Si：H太陽電池--コンビナトリアルテクノロジーによる新構造太陽電池の開発

摘要

アモルファスシリコン太陽電池の飛躍的な変換効率向上を目指して、不純物ドープ層の代わりに電界効果によりキャリアを収集する新しい概念に基づいた太陽電池--電界効果型アモルファスシリヨン（a-Si：H）太陽電池を開発し、その基本動作を実証することに成功した。 本稿では、電界効果型アモルファスシリコン太陽電池の動作原理とコンビチトリアルテクノロジーを用いたデバイス作製プロセス、および実験結果を紹介する。