フラウンホープァー電子ビーム·プラズマ技術研究所：ウエブコーティング技術と応用

摘要

今月は、現在の光学膜用ウエブコーターの主流技術である高速パルススパッタ法や今後が期待される超高速プラズマ活性化蒸着法を保有し、研究開発から生産、ハードゥエアまで、他にはないサービスを提供しているFEPのポリマーフイルムへの高機能膜形成用ウエブコーティング技術と応用例を紹介する。