フラウンホーファー電子ビーム·プラズマ技術研究所'プラズマ前処理用装置'

摘要

PVD法による金属膜、酸化膜、窒化膜などの無機膜形成においては、一般的に、大面積のガラスを基板とする場合は、表面が清浄であれば実用的に十分な密着カが得られ、プラズマ前処理を必要としないことがほとんどである。 他方、プラスチック基板の場合は、膜との熱膨張係数の違いが大きく、また表面が無機膜に対して不活性であることが多いために、密着性確保のために、前洗浄に加えて何らかの活性化手段や特別な接着層が必要とされる。金属基板の場合は、油脂分による汚れ以外にその表面が酸化されているために、洗浄とこの表面酸化層を取り除くためのエッチング処理が不可欠となる。 前号で、フラウンホーファーアライアンス"POLO"のプラズマ重合接着層形成技術を紹介したが、ここでは、関連技術として、FEPか開発、実用化した2つのプラズマ前処理用装置"ウェブトリークー"と"マグネトロンスバッタエッテンクデバイス"を紹介する。