日立ハイテクサイエンス、計測精度と操作性を向上した走査型プローブ顕微鏡

摘要

日立ハイテクサイエンス（東京都港区、川 崎賢司社長、03－3504－3966）は、計測精度と操 作性を高めた走査型プローブ顕微鏡（SPM） 「AFM5500M＝写真」を開発して発売した。 平行運動する独自の走査機構を採用して測 定のひずみなどを抑え、従来機と比べ10倍 の高精度で3次元（3D）の表面形状や物性を把 握できる。