HIGHLIGHTS 2006：新機能素子·材料/生産技術

摘要

ユビキタス社会を支える新機能素子·材料の開発とその生産技術－携帯端末の小型·軽量化に貢献する高集積RF-LSIチップセット，高速大容量·低電圧駆動の16MビットMRAM，次世代LSI用のメタルソース·ドレイン電極技術，半導体クリーンルーム内作業の自動化システムなど，特長ある製品づくりを支える新しい材料·基盤技術の開発を進めています。