ИЗУЧЕНИЕ ЗАВИСИМОСТИ МАГНИТНЫХ ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОК ПЕРМАЛЛОЯ ОТ ТОЛЩИНЫ И УСЛОВИЙ ОБРАЗОВАНИЯ

摘要

С помощью магнитных измерений на вибрационном магнитометре и измерителе магнитной восприимчивости изучены зависимости магнитных параметров пленок пермаллоя от их толщины и условий формирования. Пленки разной толщины (1,5 нм, 3,0 нм, 4,5 нм и 6 нм) были получены магнетронным распылением сплава Ni_(81)Fe_(19). Обнаружено, что при увеличении толщины пленки коэрцитивная сила и начальная магнитная восприимчивость возрастают. Остаточная намагниченность уменьшается с уменьшением толщины пленки и полностью исчезает для образцов с толщиной 1,5 нм. Форма петли гистерезиса для всех образцов, намагниченных вдоль оси легкого намагничивания, близка к прямоугольной. В направлении, перпендикулярном оси легкого намагничивания, форма петли заметно отличается от прямоугольной.