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陈甲林; 张君; 赵青南;
武汉理工大学硅酸盐实验室,430070;
直流磁控反应溅射; 紫外-可见光谱仪; 光学带隙;
机译:直流磁控反应溅射制备的气体组成和等离子体-表面相互作用对SnO_x薄膜化学计量的影响的实验和理论研究
机译:直流脉冲磁控反应溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜的光学性能
机译:直流磁控反应溅射制备纳米晶SnO _2和Au:SnO _2薄膜(会议论文)
机译:直流磁控反应溅射在硅上沉积气敏SnO2薄膜
机译:通过直流磁控反应溅射沉积氢化非晶硅过程中生长通量的表征。
机译:溶胶-凝胶法和磁控反应溅射制备Eu掺杂ZnO薄膜的结构性能与能量转移的相关性
机译:衬底温度对直流磁控反应溅射制备ZAO薄膜的影响
机译:用于mEms应用的低应力alN压电薄膜的直流磁控反应溅射
机译:用较小的溅射阴极对大衬底上的薄膜磁控脉冲溅射直流磁控反应溅射的方法和装置
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