茨城大学大学院　理工学研究科応用粒子線科学専攻プラズマ研究室

摘要

当研究室は，茨城県北部の太平洋に面した工業都市，日立市の工学部日立キャンバス内にあり，教育研究のテーマは，イオン，プラズマなどの荷電粒子群を発生·制御し，種々の分野に応用することである。必ずしも，チタンの材料工学研究を専門にしているわけではないことをお断りしたい。研究室メンバーは，教員2名，博士学生（社会人）3名，修士学生9名，学部生9名である。具体的なテーマとしては，プラズマイオン注入·堆積法（PBII＆D）による硬質揆（窒化チタンなど）コーティング，ZnO透明導電膜コーティング，絶縁物の表面加工のためのデュアルプラズマ法の研究，レーザーイオン化質量分析による残留農薬迅速分析法の開発研究，イオナイザを応用した静電気除去システムの開発研究，などである。この中で，プラズマ技術を用いた窒化チタン（TiN）硬質険コーティングについて紹介したい。