Разработка методики контроля номинальных емкостей чувствительных элементов в микроэлектромеханических системах

摘要

В статье дано описание особенностей конструкции микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрен вопрос формирования микрорельефа при производстве кремниевых ЧЭ. Предлагается и обосновывается косвенный метод измерения собственных емкостей датчиков перемещения и силы микропривода.