導体板の表面抵抗測定用標準サファイア円柱の設計に関する検討

摘要

2誘電体共振器法により導体板の表面抵抗を測定するためには、特性の揃った2本の低損失誘電体共振器が必要とされる。 本報告では、サファイア円柱を標準試料の一候補として取り上げ、その最適寸法を設計する。 モードチャートによる検討の結果から直径Dと長さLの寸法比D/L＝2.0を決定し、実験的に標準試料に適応可能なことを明らかにした。その結果、15GHz用サファイア円柱ではtanδ＝(1.43±0.02)×0{sup}(-5)、20GHz用サファイア円柱ではtanδ＝(1.93±0.03)×10{sup}(-5)となり、fQ＝Constanttが成立することがわかった。