X線検査装置における目標画像の周波数領域相関による画像処理の一考察

摘要

X線検査装置は，高品質が要求されるプリント回路基板の検査で多く利用されている．特に，LSIパッケージに樹脂で封止されたBGAはんだは，X線検査装置による検査が主として用いられる．近年に見られるはんだ接合面の微細化と，LSI構造の多層化により，X線検査は工業製品の品質向上のため必要不可欠であり，その撮影画像はよりいっそうの画質向上が求められる．撮影画像に重畳するノイズを抑制する慣習的な手法は加算平均処理であるが，X線検査時間の増加にクリティカルに影響する．そこで本論では，従来手法よりも加算平均処理の枚数を減らす画像処理技術を提案する．始めに，撮影画像の画質向上のため，参照画像として正常のBGAはんだを予め撮影する．次に，低周波領域において，撮影画像と参照画像のパワースペクトルの相関係数を重みとしたαブレンドを行う．最後に実空間に戻すことで画質が向上し，従来手法より加算平均処理の枚数を減らすことができる有効性を考察する．