鉄白金合金薄膜の微細構造に及ぼす熱処理の影響

摘要

高記録密度の磁気記録媒体材料として注目を集めている鉄白金(FePt)合金薄膜の、微細構造を観察した。 本研究では、L1{sub}0規則相を得るために必要な熱処理が、結晶粒構造と表面起伏に及ぼす影響を詳細に検討し、合金薄膜の規則化の機構について考察した。