マイクロフォーカスX線CT技術と半導体検査への応用

摘要

マイクロフォーカスX線CT装置は、半導体関連業界において、品質管理ツールとして、確固たるポジションを築きつつある。 特に高密度実装の進展により、CT3次元データの重要性が高まっている。 本論文では、従来のCT装置より高分解能で処理能力を飛躍的に向上させた最新のCT技術成果について示す。