透過電子顕微鏡〔TEM〕における試料作製法とその活用例-表面形態·析出物分布·内部構造観察法

摘要

我が国は21世紀のキーテクノロジーとして、ナノテクノロジー·材料が科学分野で散骨挙げられ国家技術戦略として「科学技術創造立国」を目指している。 そのナノテクノロジーの基盤技術の中に、①個々の原子や分子を見る、②物性を自由に操る、③物質やデバイスを白鋸こ創る、④物性を測るがある。 いずれの項目とも電子顕微鏡技術が大きく関与する。 特に透過電子顕微鏡（TEM：Transmission Electron Microscope）は、物質の構造や微細な、かつナノ（nm）オーダーの形態を美空間の像として直接観察できるために、金属·セラミックス·半導体の分野のみならず、医学·生物学の分野でも必要不可欠な装置として広く利用されて障る。またTEMは原子レベルの配列などを直接見て、構造を決定し、さらに組成分析をずることが可能なことから有力な観察および解析技術に必須の評価装置になっている。本講演では、TEMによる解析結果の良否に関わりをもつ前処理技術である「試料作製数が重要と考え、かつTEM技術を用いた評価および解析を有効に活用するために、古くから行われている試料作製や最新の集束イオンビーム（FIB：Focused Ion Beam）加工装置を用樟た各種の新手法を紹介する。 さらにこれらの前処理技術を用いた実材料や部品の解析事例を述べる。