トライボロジー試驗·測定技術(I)：ナノプレシジョンを実現する加工·計測融合システム－大型加工からデスクトップ加工まで

摘要

近年のデジタル機器の進歩を支える先進機能部品である電子·光学デバイスや、これらを量産レベルで生み出す金型の製造において、超精密加工·ナノプレシジョン加工の実現と普及がますます重要な課題となっている。 加工、特に機械加工の中でも、ELID (Electrolytic Inprocess Dressing)による超精密·鏡面研削や超精密切削加工などのプロセス技術と、ナノプレシジョン加工システム技術の統合化が進んでいるが、加工中に発生する誤差の低減のためには、加工機上での計測との融合が不可欠となっている。 筆者らは、こうした背景において加工計測融合システムを提唱し、デジタルマイスター計画に基づいた超精密加工の情報技術化を推進するべく、こうした課題に取り舶んできた。