光干渉計の最新評価技術－操作性を向上するユニークな仕様構造と解析技術の紹介

摘要

昨今では、基本測定原理をもとに様々な応用が施され、当時は研究·開発の用途としてスタートした計測技術も、今では最も性能·品質·安全性と共に高速スループットが要求される半導体／MEMS·データストレージ·液晶·光学部品·トライボロジー·医療／医薬分野などで求められる様々な最先端材料のR＆Dおよび製造工程における形状·粗さ評価手段の一つとして有効的に用いられている。本稿では、光干渉計の最新モデルContour GT（題字横写真）が採用する、操作性を格段に向上させるメカニカル機構の紹介とともに、従来の光干渉計にはない、光学限界を超えたユニークな計測技術など、いくつかの新しい試みと可能性を紹介する。