フォトニック結晶ナルーザを使ったバイオセンシング

摘要

多次元周期構造であるフォトニック結晶は，フォトニックバンドギャップを利用することで微小共振器を実現する。そして，フォトニック結晶をIII-V光半導体に作り込むと，ナノレーザが得られる。図1はGaInAsP/InP単一量子井戸レーザウエハに対して電子ビーム描画，HI系誘導結合プラズマエッチング，HClウェットエッチングという短い工程で製作されたナノレーザである．。薄いGaInAsP スラブと円孔配列とで構成されるフォトニック結晶スラブの中で，隣り合う2つの円孔の位置をずらすことによりHO型と呼ぶ共振器が形成され，Q値1万以上のレーザモードが約1μmφの面積に閉じ込められる。この共振器の周囲の円孔直径を非対称的なパターンで変調すると，上方への発振光の放射が増大する。