40Gbps DQPSK用クワッドPDモジュール

摘要

三菱電機は，クワッドPD素子及びそれを用いた40Gbps DQPSK用クワッドPDモジュールを開発した。クワッドPD素子は，光吸収層埋め込み構造によって高信頼性化した表面入射型pin-PDを1チップ上に4素子集積した。広帯域化の障害となる電極パッド部の寄生容量を低減するとともに，光吸収層厚を最適化することによって，帯域·感度ともに良好な特性を確認した。また，チップ内の素子間均一性も改善した。クワッドPDモジュールは，開発したPD素子に適した光学設計と高周波伝送線路設計を行って製作し，40Gbpsでの良好なアイ開口波形と伝送特性を確認した。