CVDダイヤモンドの現状と

摘要

CVD法によるダイヤモンド厚膜（自立体）が実用レベルの特性を備えた工業材料として市販されるようになって以来数年か経過し，近年その用途が拡大している。 これは大面積自立体の製造法と高度な加工技術が確立されたことによるものである。 たとえば最大直径120mmまでの光学グレードの自立体が実現したことにより，炭酸ガスレーザ用窓をはじめ種々の光学窓としての利用が広がった。高周波および誘電特性を備えたRFグレードはプラズマ核融合を成功に導くための重要な役割としてジャイロトロン用窓に用いられている。 耐摩耗性と機械的強度を特徴とするメカニカルグレードは直径160mmまで製造されており，切削工具などへの利用が急激に拡大している。 優れた熱特性を利用できるTMグレード品は，高機能ヒートトシンクやヒートスプレッダ,としての利用が進められている。 本稿では　 エレメントシックス社て開発した各種CVDダイヤモンド自立体のうち，非機械加工用途に限定して実用例および今後期待される利用分野について概説する。