300mmを5月から月産5,000枚で量産開始/2004年には年産能力200万枚（8インチ換算）体制に増強

摘要

フランス，SOITEC（ソイテック）社は5月から300mmSOI（silicon on insulator）ウコニー一ハを月産5，000枚規模で量産を開始した。 SOIウエーハの需要が低消費電力，高速LSI向けに増加していることに対応したもの。ソイテック社（日本総代理店は西華産業·電子情報産業本部工業機器部（03）5684－7563）は8インチウエーハを中心に4，5，6，12インチの各SOIウエいハを生産，現在の年産能力は80万枚（8インチ換算）（本紙4月24日号既報）で，年末には同100万枚に引き上げる。 「ユニボンド」SO工ウエ一ハの仕様は，直径4インチから12インチ，SOⅠ層厚は50nm～1．5μm，BOX（埋込み酸化膜）層厚は0．1μm～3μm。 なお,SOI層が1．5μm以上はエピにて可能である。 また高抵抗基板にも対応している。