机译:H2和O2流量变化对低温面对靶磁控溅射(FTS)系统中ZnO薄膜电学性能影响的研究
ZnO thin film; Facing targets magnetron sputtering (FTS); Low temperature process; Sheet resistance; Optical band gap.;
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机译:氢流量对面向靶溅射系统沉积ZnO薄膜性能的影响研究
机译:ZnO:Al薄膜的光学和电性能沉积在低温下通过RF磁控溅射沉积在低温下
机译:氧气流速对利用射频磁控溅射系统进行紫外线传感器应用制备的纳米柱ZnO薄膜性能的影响
机译:射频反应磁控溅射在低温下沉积在硅上的压电氮化铝薄膜的声波器件特性
机译:射频磁控溅射制备(MgAl)共掺杂ZnO薄膜的光电性能研究与研究
机译:各种衬底温度对RF磁控溅射沉积的ZnO薄膜结构和电性能的依赖性