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机译:应变硅中氧扩散的活化能:微带弹性带方法的混合量子经典模拟研究
diffusion; oxygen; silicon; activation energy; stress dependence; density-functional theory; molecular dynamics; hybrid simulation; nudged-elastic band; ELECTRONIC-STRUCTURE CALCULATIONS; DENSITY-FUNCTIONAL THEORY; PARALLEL COMPUTERS; DYNAMICS SIMULATION; SADDLE-POINTS; OXIDATION; GERMANIUM; MECHANISM; PRESSURE; PATHS;
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