机译:用QCM方法研究ArF在显影过程中的溶胀行为(3)-溶胀层弹性模量的观察-
QCM development analysis method; ArF resist; swelling; TMAH; TBAH; elastic modulus;
机译:用QCM方法研究ArF在显影过程中的溶胀行为(3)-溶胀层弹性模量的观察-
机译:用QCM方法观察ArF抵抗剂在显影过程中的溶胀行为(2)
机译:用QCM方法观察ArF抵抗剂在显影过程中的溶胀行为(2)
机译:用QCM方法研究ArF抗蚀剂在显影过程中的溶胀行为(3):溶胀层弹性模量的观察
机译:偶极耦合方法在预测层状无机材料溶胀和剥落行为中的应用。
机译:溶质渗透率对使用水泡溶胀法测定弹性模量的影响。
机译:QCM方法在开发过程中抗蚀剂肿胀行为的研究(3) - 膨胀层弹性模量的观察 -