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机译:含苯甲酮的三甲氧基硅烷衍生物的反应性单层辅助热纳米压印光刻技术,用于对铬和铜薄膜进行构图
reactive-monolayer-assisted thermal nanoimprint lithography; benzophenone-containing trimethoxysilane; patterned metal film; wet etching;
机译:含苯甲酮的三甲氧基硅烷衍生物的反应性单层辅助热纳米压印光刻技术,用于对铬和铜薄膜进行构图
机译:在反应性单分子层辅助的热纳米压印光刻中使用荧光染料掺杂的聚苯乙烯薄膜进行抗蚀剂图案检查
机译:热纳米压印光刻技术构图的聚甲基丙烯酸甲酯和聚苯乙烯薄膜的抗蚀性能
机译:薄膜和限制对热纳米压印光刻图案的影响
机译:通过纳米压印光刻技术在铝薄膜上进行图案化阳极氧化。
机译:通过软紫外-纳米压印光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火处理大规模制造纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:具有含二苯甲酮的含二甲氧基硅烷衍生物的反应性 - 单层辅助热纳米压印光刻,用于图案化薄铬和铜膜