机译:TEXTOR-94放电过程中反应气体局部注入对等离子体边缘传输和沉积的研究
Textor-94; Limiter; 3d model; Monte carlo simulation; Impurity transport; Erosion and particle deposition;
机译:TEXTOR-94放电过程中反应气体局部注入对等离子体边缘传输和沉积的研究
机译:各种反应气体对TiC_xN_y薄膜的等离子体增强原子层沉积
机译:TEXTOR-94中杂质原子的产生和渗透到等离子边缘与中心杂质含量之间的联系的实验研究
机译:反应蒸发,离子辅助沉积和等离子体离子辅助沉积SiO_2,Al_2O_3和HfO_2单层的紫外-光学和结构性质的比较研究。
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:直流辉光放电等离子体中生成的聚苯胺和聚邻茴香胺层的形态和结构分析
机译:使用边缘传输代码EmC3-EIRENE在alcator C-mod上进行局部偏滤杂质注入的H模式等离子体的三维模拟