机译:干涉相干傅里叶散射法:一种在光学反光栅问题中获得高灵敏度的方法
coherence; grating; interferometry; lithography inspection; scatterometry;
机译:干涉相干傅里叶散射法:一种在光学反光栅问题中获得高灵敏度的方法
机译:具有相干傅里叶散射散射法的亚微米精度的高度敏感的激光聚焦定位方法
机译:通过使用单张照片确定具有周期性结构的表面的空间位置的光学方法:II。基于干涉原理并提供可控制的测量灵敏度的相干光学方法
机译:相干傅里叶散射法:提高半导体计量灵敏度的工具
机译:涂抹拟合:一种从干涉数据中获取图像的新方法。
机译:相干的傅里叶散射测定法显示出神经纤维大脑的过境点
机译:相干的傅里叶散射测定法揭示了大脑中的神经纤维交叉
机译:用于大型多电荷离子的结构表征的先进方法:获得电荷状态确定和改善的灵敏度。