机译:用于50 nm以下EUV光刻的新型阴离子光酸产生剂(PAG)和相应的PAG键合聚合物
LINE-EDGE ROUGHNESS; RESIST; PHOTORESISTS; PERFORMANCE; DESIGN; IMAGE; ACID;
机译:用于50 nm以下EUV光刻的新型阴离子光酸产生剂(PAG)和相应的PAG键合聚合物
机译:新型阴离子光生酸剂(PAG)结合聚合物的合成,表征和光刻性能
机译:用于193 nm光刻的新型聚合物阴离子光酸产生剂(PAG)和相应的聚合物
机译:由阴离子光酸产生剂(PAG)结合的聚合物组成的高折射率抗蚀剂,用于193 nm浸没式光刻
机译:手腕和腕部磁共振成像中的带式成像仪,一种动态方法,用于对大于整数的半整数自旋的大分子结合核进行NMR核磁共振,以及在液氦温度下聚合物中的交叉极化NMR。
机译:用于紫外或近紫外LED的碘鎓盐的设计用于光酸产生剂和聚合目的
机译:新型阴离子光酸发生器(PAG)结合聚合物的合成,表征和光刻性能
机译:碱性和paG对EUV光刻胶脱保护模糊的影响及对噪声的一些思考