机译:新型阴离子光生酸剂(PAG)结合聚合物的合成,表征和光刻性能
机译:用于50 nm以下EUV光刻的新型阴离子光酸产生剂(PAG)和相应的PAG键合聚合物
机译:新型阴离子光酸产生剂(PAG)和相应的PAG结合聚合物
机译:由阴离子光酸产生剂(PAG)结合的聚合物组成的高折射率抗蚀剂,用于193 nm浸没式光刻
机译:I.碘(III)试剂在核苷酸和氨基酸合成中的应用。二。乙烯基单体的合成和阴离子聚合(免疫缺陷)。
机译:用于紫外或近紫外LED的碘鎓盐的设计用于光酸产生剂和聚合目的
机译:新的阴离子光酸发电机结合的聚合物抵抗EUV光刻