机译:原子分辨率轮廓仪对氧化鳍片凹槽的原子分辨率质量控制
FinFET; Oxide recess; Atomic resolution profiler; In-line monitoring; Metrology; Atomic force microscopy;
机译:原子分辨率轮廓仪对氧化鳍片凹槽的原子分辨率质量控制
机译:在具有光增强化学和等离子体增强原子层沉积氧化物的倒梯形三栅极AlGaN / GaN MOS高电子迁移率晶体管中,由栅极面积和栅极凹槽控制的阈值电压
机译:清洁金属氧化物表面的原子分辨率非接触原子力显微镜
机译:原子分辨率轮廓仪对氧化鳍片凹槽的原子分辨率质量控制
机译:通过扫描隧道显微镜以原子分辨率进行多维掺杂物轮廓分析。
机译:原子分辨率低角度环形暗场扫描透射电镜对二氧化铈的氧化态敏感成像
机译:具有原子或分子暗共振的超高分辨率光谱:绝热脉冲状态下的精确稳态线形和渐近曲线
机译:石墨的原子分辨原子力显微镜和硅上的“天然氧化物”