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机译:使用Cu(1 at。%Ti)合金膜在多孔低k层上自形成的Ti富垒层
Cu(Ti) alloy film; self-formation; diffusion barrier; porous low-k films; pore seal;
机译:使用Cu(1 at。%Ti)合金膜在多孔低k层上自形成的Ti富垒层
机译:介电层组成对Cu(l at percent Ti)/ Low-k样品中自形成的Ti-rich势垒层生长的影响
机译:Cu(Ti)/ Low-k样品中自形成的Ti-Rich界面层的表征
机译:自成型富含Ti的屏障层INCU(TI)/低K样品
机译:在独立的阻挡层之间包含氮间隔物的多层阻挡膜。
机译:Cu / Ni多层膜调制比对Ti-811钛合金微动损伤行为的影响
机译:使用Cu(1at。%Ti)合金膜在多孔低k层上自形成的Ti-Ti阻挡层