Structural and Chemical Characterization of As-Deposited Microcrystalline indium Oxide Films Prepared by dc Reactive magnetron Sputtering

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• 来源
  《Journal of Electronic Materials》 |1999年第1期|共9页
• 作者

  XIROUCHAKI C.; MOSCHOVIS K.; CHATZITHEODORIDIS E.; KIRIAKIDIS G.; BOYE H.; MORGEN P.;

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• 作者单位

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 材料;
• 关键词

  Auger electron spectroscopy(AES); dc reactive magnetron sputtering; energy dispersive X-ray analysis(EDX); indium oxide; transmission electron microscopy(TEM); UV photoreduction;

  机译：俄歇电子能谱（AES）;直流反应磁控溅射;能量色散X射线分析（EDX）;氧化铟;透射电子显微镜（TEM）;紫外光还原;
• 入库时间 2022-08-19 01:00:12