Nano-Positioning System Using Linear Ultrasonic Motor with 'Shaking Beam'

SERGEY BORODIN; JEONG-DO KIM; HYUN-JAI KIM; PIOTR VASILJEV; SEOK-JIN YOON

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Nano-Positioning System Using Linear Ultrasonic Motor with 'Shaking Beam'

机译：使用带有“摇梁”的线性超声波电动机的纳米定位系统

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In this paper the ultrasonic linear motor based on shaking beam and nano-positioning mechanical system were investigated. The advantages of the ultrasonic linear motor are high resolution, no magnetic noise generation due to the DC characteristics of the piezoelectric device, high servo rigidity, high holding torque and none additional brake system. It was confirmed that ultrasonic linear motor is suitable for nano-motion positioning with various speeds at close-loop control. The ultrasonic linear motor based on shaking beam was described and the nano-positioning systems using the ultrasonic linear motor were investigated.

机译：本文研究了基于振动梁和纳米定位机械系统的超声直线电机。超声波线性电动机的优点是分辨率高，由于压电装置的直流特性而不会产生磁噪声，伺服刚性高，保持转矩高并且无需额外的制动系统。可以肯定的是，超声波线性电动机适用于在闭环控制下以各种速度进行纳米运动定位。描述了基于振动束的超声线性电动机，并研究了使用超声线性电动机的纳米定位系统。

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来源
《Journal of electroceramics》 |2004年第3期|共5页
作者
SERGEY BORODIN; JEONG-DO KIM; HYUN-JAI KIM; PIOTR VASILJEV; SEOK-JIN YOON;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类电工陶瓷材料;
关键词
Nano-positioning; Ultrasonic linear motor; Shaking beam; Resolution;

机译：纳米定位超声波直线电机摇梁分辨率;

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