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机译:通过电子束蒸发沉积的Y2O3稳定的ZrO2薄膜:光学性质,结构和残余应力
YSZ thin films; Residual stress; Electron-beam evaporation; Refractive index; Structural properties; ZIRCONIUM DIOXIDE; EB-PVD; MICROSTRUCTURE; GROWTH;
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