CORELATII PRIVIND CONDITIILE DE DEPUNERE, STRUCTURA SI PROPRIETATILE STRATURILOR SUBTIRI DE TIP ZrNx OBTINUTE PRIN PULVERIZARE REACTIVA IN SISTEM MAGNETRON

摘要

Straturile subtiri de tip ZrN au fost depuse prin pulverizare reactiva in sistem magnetron in current continuu si analizate in ceea ce priveste proprietatile lor. S-a utilizat o tinta de zirconiu si doua gaze au fost introduse in camera de depunere: argon (gaz de lucru) si azot (gaz reactiv). Straturile au fost obtinute variind debitul gazului reactiv, fara polarizarea tintei si fara aplicarea unui strat intermediar de aderenta. Variind raportul debitului de azot s-au putut obtine straturi cu caracteristici diferite. Analiza compozitiei prin spectrometrie Rutherford (RBS) a fost realizata pentru a evidentia concentratiile elementelor din strat. Difractia de raze X a aratat evolutia structurii straturilor care a prezentat o modificare de la o structura hexagonal compacta (hcp) pentru debite scazute ale gazului (continut redus de azot) la o structura cfc si in final la o structura ortorombica Zr_3N_4 pentru debite mai ridicate ale gazului. Culoarea straturilor a fost caracterizata prin spectroscopie de reflexie si exprimata in spatiul color CIE 1976 L*a*b*. Metoda sondarii in patru puncte a aratat faptul ca rezistivitatea creste odata cu cresterea debitului gazului reactiv. Pentru determinarea duritatii straturilor a fost utilizat un microdurimetru Vickers. Rezultatele au aratat ca proprietatile mecanice au fost influentate de procentul de azot.