Die Diagnostik von technischen Plasmen mittels Mikrowellen-Interferometrie wird insbesondere im Vergleich zur traditionellen Langmuir-Sondendiagnostik diskutiert. Ein neuartiges Mikrowellen-Interferometer (MWI 2650) der JE PlasmaConsult GmbH wird vorgestellt, das auf starre Hohlleiter im Referenzarm verzichtet und stattdessen ein flexibles Koaxialkabel verwendet. Die direkte Anzeige der Elektronendichte sowie ein kalibrierter Ausgang zu einem Oszilloskop erleichtern die Bedienung des Gerates. Neben Messungen der Plasmadichte an chemisch reaktiven bzw. schichtabscheidenen Plasmen, bei denen Langmuirsonden prinzipbedingt Begrenzungen haben, konnen mit dem MWI 2650 auch zeitaufgeloste Messungen der Elektronendichte an gepulsten Plasmen mit hoher Empfindlichkeit durchgefuhrt werden. Mit diesem Gerat gelang es, einen Peak der Elektronendichte im Afterglow von elektronegativen bzw. staubigen Plasmen experimentell nachzuweisen. Eine spezielle Version des MWI 2650 ist auch fur die Diagnostik von Atmospharendruck-Plasmen geeignet.
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