Vakuummessung im Wandel der Zeit: Von Torricelli zum ausheizbaren digitalen Weitbereichssensor zur Messung von 10~3 bis 10~(-12) mbar

摘要

Seit der ersten Vakuummessung, Mitte des 17. Jahrhunderts wurden vielfaltige Methoden zur Totaldruckmessung im Vakuum entwickelt. Mit der breiteren Anerkennung der kinetischen Gastheorie im spaten 19. Jahrhundert begann die Entwicklung verschiedener indirekter Messverfahren. Die bis dahin bei direkten Verfahren (wie z.B. Quecksilberrohren) bestehende untere Messgrenze verschob sich im 20. Jahrhundert vom Feinvakuum immer weiter Richtung Ultrahochvakuum. Das Kombinieren unterschiedlicher Sensortypen in einem Weitbereichssensor ermoglichte bald die Messung uber erweiterte Druckbereiche - mit nur einem Gerat. Neueste, hier vorgestellte Entwicklungen in der Vakuummesstechnik sind ausheizbare passive Weitbereichssensoren. Sie vereinen optimierte Ionisations-Vakuum-Sensoren mit einer neuartigen Einbindung eines digitalen Pirani-Sensors. Mit diesen ausheizbaren Sensoren gelingt erstmals die prazise Totaldruckmessung mit einem Gerat uber 15 Dekaden hinweg - von Atmosphare bis ins Ultrahochvakuum (10~(+3) bis 10~(-12) m bar).