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机译:使用激光诱发的冲击波清洗硅晶片表面:一种新的干洗方法
Laser shock cleaning; Particle; Removal efficiency; Silicon;
机译:使用激光诱发的冲击波清洗硅晶片表面:一种新的干洗方法
机译:阐明了晶片表面上异丙醇(IPA)的吸附现象,以实现批量清洗系统中的超净和节省IPA的干燥过程
机译:激光震荡清洁中激光引起的液柱击穿增强空气传播的冲击波
机译:在晶片表面上阐明异丙醇(IPA)吸附现象,用于在批量清洁系统中实现超清洁和IPA节约干燥过程
机译:使用激光诱导的热脱附研究在清洁和化学改性的单晶金属表面上的表面扩散和化学反应
机译:响应面法优化秋葵的微波辅助热风干燥条件
机译:使用单晶圆,单室干/湿混合系统剥离和清洗高剂量离子注入光刻胶