一种基于激光诱发原位化学反应的表面改性装置

摘要

一种基于激光诱发原位化学反应的表面改性装置,属于激光表面加工装置技术领域。激光束经反光镜反射后通过真空室面板上的石英窗被聚焦到真空室内的样品台上;固定在底座上的运动控制装置带动样品台实现二维运动,样品台中埋有电阻丝;样品台上方有两块极板;真空室面板上安装有针阀,真空室通过气管与气瓶相连;插板阀的下方依次连接有分子泵、电磁隔断阀和机械泵,