Hochpraezise Messungen an photoelektrischen Laengenmessgeraeten mit einem 120-mm-Abbe-Komparator

摘要

Hohe Anforderungen in den modernen Anwendungen photoelektrischer Laengenmessgeraete erfordern deren umfassende metrologische Charakterisierung. Zur Bestimmung ihrer Gesamtlaenge und ihrer Linearitaetsabweichungen sowie zur Untersuchung ihrer Langzeitstabilitaet werden Laengenkomparatoren benutzt, fuer die wiederum noch engere Spezifikationen gelten. In diesem Beitrag wird ein Komparator vorgestellt, der fuer Messlaengen bis zu 120 mm Messunsicherheiten von weniger als 12 nm erreicht. Zeitliche Laengenaenderungen photoelektrischer Messgeraete in der Groessenordnung eines Nanometers sind mit dem Komparator nachweisbar. The very high demands of modern applications using photoelectric linear encoders require a comprehensive metrological characterization of the encoders. Length comparators are used to determine the total length of the encoders as well as their non-linearity and long-term stability. Of course the length comparators themselves are subject to even tighter specifications. This article introduces a comparator specifically designed for a measurement length of 120 mm, achieving measurement uncertainties of less than 12 nm. This comparator can detect long-term changes in the length of photoelectric encoders on the order of one nanometer.