Ungekuhlte Thermoelement-Luftbruckenstruktur fur Anwendungen im THz-Bereich

摘要

Eine Luftbruckenstruktur wurde entwickelt, auf der ein Dunnschicht-Thermoelement angeordnet ist. Dieses Thermoelement dient als Abschlusswiderstand einer Antenne und gleichzeitig als Temperatursensor [1]. Die Bruckenstruktur wurde mittels Oberflachenmikromechanik hergestellt. Die thermischen Eigenschaften der Luftbruckenstruktur wurden durch Computersimulationen untersucht, und basierend auf diesen Ergebnissen wurde eine geeignete Technologie entwickelt, um eine hochleistungsfahige thermoelektrische Terahertz-Sensorstruktur herzustellen. Die Messung der elektrischen Empfindlichkeit dieser Thermoelement-Luftbruckenstruktur ergab eine NEP von 18 pW/Hz~(1/2) unter Vakuumbedingungen und von 67 pW/Hz~(1/2) an Luft.