Dreistrahllaserinterferometrie zur Topografievermessung ebener Flachen

摘要

Bei der Vermessung von Geradheit und Ebenheit nahezu planer Fla- chen und Fuhrungen werden vorrangig Autokollimationsfernrohre oder elektronische Neigungsmessgerate eingesetzt. Eine weitere geeignete Messtechnik ist die Dreistrahllaserinterferometrie. Mit ihr konnen ebenso Winkel mit hoher Genauigkeit erfasst werden. Vor dem Einsatz neuer Techniken muss deren Eignung bezuglich Wiederholbarkeit und Genauigkeit in verschiedenen Anwendungsgebieten uberpruft werden.