机译:电容耦合SF6 / O-2 / Ar和SF6 / Ar放电中绝对氟原子密度的研究
atomic fluorine density; appearance potential mass spectrometry; SF6 and SF6/O-2 capacitive discharge;
机译:电容耦合SF6 / O-2 / Ar和SF6 / Ar放电中绝对氟原子密度的研究
机译:Ar / CF4和Ar / O2 / CF4放电的双频电容耦合等离子体中电子密度和离子能量分布的实验研究
机译:Ar / CF_4和Ar / O_2 / CF_4放电的双频电容耦合等离子体中电子密度和离子能量分布的实验研究
机译:SF6 / Ar等离子体中BZN薄膜的电感耦合等离子体蚀刻
机译:校正使用SF6 / C4F8 / Ar气体混合物进行深硅蚀刻时的长宽比依赖性。
机译:(3aS5S7aS7bS9aR10R12aR12bS)-7b-羟基-447a9a12a-五甲基-10-(2R)-6-甲基庚烷-来自62年历史的晶体中的2-yl -289-三氧十八烷基氢苯并d茚并45-b氮杂环庚烷-5-基乙酸酯
机译:质谱仪壁探针概述含有SF6和/或O2的AR放电:蚀刻等离子体中的反应离子