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【24h】精密倾斜仪作为坡度测量仪器的参考

【摘要】下一代同步加速器和自由电子激光器需要极高性能的X射线光学系统才能正确聚焦。不使用精密的光学计量仪器就无法制造必要的光学器件。尤其是,基于笔形光束干涉仪的Long Trace Profiler(LTP)是使用X射线光学器件进行低空间频率斜率测量的宝贵工具。这种设备的局限性是由系统误差和噪声的数量决定的。 LTP性能的显着改善是增加了一个光学参考通道,该通道可以部分解决与LTP托架的摆动和摆动相关的系统错误。但是,光学参考受到变化的光路长度,非均匀光学器件和空气湍流的影响。在当前的工作中,我们通过实验研究与使用精密倾斜仪作为参考通道有关的问题。研究了倾斜仪性能对水平加速度,温度漂移,运动状态和平移台运动学方案的依赖性。结果表明,在适当的实验装置下,倾角仪为LTP系统提供了一个斜率参考,精度为0.1μrad(rms)。

【作者】Jonathan L. Kirschman;Edward E. Domning;Gregory Y. Morrison;Brian V. Smith;Valeriv V. Yashchuk;

【作者单位】Lawrence Berkeley National Laboratory, Berkeley, California, 94720;

【年(卷),期】2007(),

【年度】2007

【页码】P.8.1-8.12

【总页数】12

【原文格式】PDF

【正文语种】eng

【中图分类】TH741;

【关键词】测斜仪;斜率测量仪;长轨迹轮廓仪; LTP;减少误差;参考; x射线光学;光学计量;

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