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International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems
International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems
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1.
Multi-site monitoring of choline and glutamate using biosensor microprobe arrays in combination with CMOS circuitry
机译:
使用生物传感器微探针阵列与CMOS电路组合使用生物传感器微肺阵列的胆碱和谷氨酸的多场监测
作者:
Frey O.
;
Rothe J.
;
Lewandowska M.K.
;
van der Wal P.D.
;
de Rooij N.F.
;
Hierlemann A.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Biosensor;
CMOS;
L-glutamate;
choline;
microprobe;
2.
Surface acoustic wave gas sensor for monitoring low concentration ammonia
机译:
用于监测低浓度氨的表面声波气体传感器
作者:
Lin T.H.
;
Li Y.T.
;
Hao H.C.
;
Fang I.C.
;
Yang C.M.
;
Yao D.J.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Ammonia;
Environmental monitoring;
Gas sensor;
Industrial gas;
Surface acoustic wave;
3.
Polymer MEMS fabrication process for self-assembled millimeter-wave on-chip antennas
机译:
用于自组装毫米波片上天线的聚合物MEMS制造工艺
作者:
Lee S.-W.
;
Parameswaran M.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Integrated antennas;
Polymer MEMS;
Self-assembly;
4.
Design, modeling, fabrication and characterization of an electret-based MEMS electrostatic energy harvester
机译:
基于驻极体静电能量收割机的设计,建模,制造和表征
作者:
Altena G.
;
Hohlfeld D.
;
Elfrink R.
;
Goedbloed M.H.
;
van Schaijk R.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Electret;
Electrostatic;
Energy harvester;
MEMS;
SABER;
Scavenging;
Variable capacitor;
Vibration generation;
5.
Dual sidewall lateral nanoelectromechanical relays with beam isolation
机译:
双侧壁横向纳米机电机电继电器具有梁隔离
作者:
Lee W. S.
;
Chong S.
;
Parsa R.
;
Provine J.
;
Lee D.
;
Mitra S.
;
Wong H.-S. P.
;
Howe R.T.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
hafnium oxide;
isolation;
relay;
switch;
6.
Mechanical stimulator of cultured vascular endothelial cell for investigation of drug permeability of blood vessel
机译:
培养血管内皮细胞机械刺激器,用于血管造成药物渗透性的血管内皮细胞
作者:
Shunori A.
;
Shimizu K.
;
Hashida M.
;
Konishi S.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Cell stretch;
Drug permeability;
Strain-gradation;
7.
Residual stress-free 100 MHz PZT-based concave diaphragm resonator for label-free protein-ligand biosensing with self-enhancing mechanism
机译:
基于压力的100MHz PZT基凹形隔膜谐振器,用于无标记的蛋白质 - 配体,具有自增强机制
作者:
Feng Guo-Hua
;
Lin Zhi-Dain
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
PZT;
Residual stress;
biosensing;
concave diaphragm resonator;
8.
Piezoelectric PDMS films for power MEMS
机译:
电力MEMS的压电PDMS薄膜
作者:
Wang J.J.
;
Hsieh J.M.
;
Tsai R.W.
;
Su Y.C.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Cellular Polymer;
Energy Harvesting;
Micro Plasma Discharge;
Piezoelectric Material;
9.
Micro disk resonator with on-disk piezoelectric thin film transducers for integrated MEMS ubiquitous applications
机译:
微型磁盘谐振器,带磁盘压电薄膜换能器,用于集成MEMS普遍存在的应用
作者:
Lu J.
;
Zhang Y.
;
Itoh T.
;
Maeda R.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
MEMS;
PZT;
disk resonator;
piezoelectric transducer;
quality-factor;
wireless sensor network;
10.
In-process parameter calibration of thermoelectrical flow sensors with monolithic integrated channel
机译:
具有单片集成通道的热电流传感器的过程参数校准
作者:
Kropp M.
;
Brauns E.
;
Sosna C.
;
Lang W.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
flow sensor;
in-process calibration;
microfluidic;
monolithically integrated channel;
11.
Measurement of shear stress between single-wall carbon nanotubes and substrates using NEMS devices
机译:
使用NEMS器件测量单壁碳纳米管和基材之间的剪切应力
作者:
Pan H.Y.
;
Wu Y.C.
;
Ryan P.J.
;
Adams G.G.
;
McGruer N.E.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
NEMS cantilever;
SWNT;
shear stress;
12.
Ni-based microvalves for flow modulation: Toward active combustion control
机译:
基于NI的流量调制微型阀:朝向主动燃烧控制
作者:
Chang C.W.
;
Okojie R.S.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Microvalve;
Ni;
combustion control;
diaphragm;
finite element analysis;
microactuator;
13.
A parylene-led wingbeating indicator for visual remote sensing
机译:
一种用于视觉遥感的聚粉型翼翼指示灯
作者:
Yang L.J.
;
Huang I.C.
;
Chen Y.S.
;
Tang W.T.
;
Wang A.B.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Micro-air-vehicle;
figure-of-8;
light emitting diode;
parylene;
14.
A polymer stacking process with 3D electrical routings for flexible temperature sensor array and its heterogeneous integration
机译:
具有3D电气路线的聚合物堆叠工艺,用于灵活的温度传感器阵列及其异构集成
作者:
Su Wang-Shen
;
Chen Chang-Hung
;
Lee Chih-Chun
;
Lin Yu-Cheng
;
Fang Weileun
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
3D integration;
Flexible substrate;
through-hole vias;
15.
A novel dual screen projection system using balance-type micromirror with piezoelectric actuator
机译:
一种新型双屏投影系统,采用压电致动器的平衡型微镜
作者:
Shih M.T.
;
Shen S.C.
;
Chang S.J.
;
Huang H. J.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
LIGA-like;
dual screen projection system;
micro-mirror;
piezoelectric actuator;
16.
Lightweight biocompatible physical sensors: Polymeric films #x201C;self-metallized#x201D; with organic molecular conductors
机译:
轻量级生物相容性物理传感器:聚合物薄膜“自我金属化” 用有机分子导体
作者:
Laukhina Elena
;
Lebedev Victor
;
Laukhin Vladimir
;
Oncins Gerard
;
Pfattner Raphael
;
Rovira Concepcio
;
Veciana Jaume
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Flexible lightweight pressure sensors;
metallized plastics;
molecular organic conductors;
piezo-resistive effect;
17.
UV laser dicing without failure caused by contamination and heat for thick anodically bonded silicon/glass MEMS wafers
机译:
UV激光切割而不会因粗阳极粘结的硅/玻璃MEMS晶片而引起的污染和热量引起的
作者:
Xiao D.B.
;
Zhang X.
;
Hou Z.Q.
;
Wu X.Z.
;
Chen Z.H.
;
Pan Y.
;
Wu X.D.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Anodically bonding;
Dicing;
Heat affection;
MEMS;
Recess;
UV laser;
18.
Capacitive frequency tuning of ALN micromechanical resonators
机译:
ALN微机械谐振器的电容频率调谐
作者:
Kim B.
;
Olsson R.H.
;
Wojciechowski K.E.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
RF MEMS;
aluminum nitride;
resonator;
tuning;
19.
Nano-electromechanical storage element for a low power complimentary logic architecture using PZT relays
机译:
用于低功耗互补逻辑架构的纳米机电存储元件使用PZT继电器
作者:
Proie Robert M.
;
Polcawich Ronald G.
;
Pulskamp Jeffrey S.
;
Ivanov Tony
;
Zaghloul Mona
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
20.
#x201C;MEMSEye#x201D; for optical 3D tracking and imaging applications
机译:
“ memseye” 用于光学3D跟踪和成像应用
作者:
Milanovic V.
;
Kasturi A.
;
Siu N.
;
Radojicic M.
;
Su Y.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
3D tracking;
MEMS mirror;
barcode scanner;
corner-cube retroreflector;
laser imaging;
laser tracking;
micromirror;
orientation sensor;
21.
High pressure EWOD digital microfluidics
机译:
高压EWOD数字微流体
作者:
Nelson W. C.
;
Yen M.
;
Keng P. Y.
;
van Dam R. M.
;
Kim C.-J.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Electrowetting-on-dielectric (EWOD);
diffusion;
digital microfluidics;
evaporation;
pressure chamber;
22.
Metal-based piezoelectric MEMS scanner mirrors composed of PZT thin films on titanium substrates
机译:
基于金属的压电MEMS扫描器镜,由PZT薄膜上的钛基板组成
作者:
Matsushita Shuhei
;
Kanno Isuku
;
Yokokawa Ryuji
;
Kotera Hidetoshi
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
MEMS scanner mirror;
PZT thin films;
piezoelectric actuator;
sputtering;
23.
Specific cell capture and temperature-mediated release using surface-immobilized aptamers in a microfluidic device
机译:
使用微流体装置中的表面固定的适体捕获和温度介导的释放
作者:
Zhu Jing
;
Nguyen ThaiHuu
;
Pei Renjun
;
Stojanovic Milan
;
Lin Qiao
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Aptamer;
Cancer Diagnostics;
Cell Capture;
Temperature Control;
24.
Low-temperature sealing for optical microsystem packages using Au-Au surface activated bonding in atmospheric pressure environment
机译:
光学微系统封装的低温密封,在大气压环境中使用Au-Au表面活性粘合
作者:
Yamamoto S.
;
Higurashi E.
;
Suga T.
;
Sawada R.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Hermetic packaging;
Low-temperature bonding;
Optical microsystem;
25.
Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template
机译:
使用纳米体模板的金纳米粒子的纳米孔可控自组装
作者:
Sugano K.
;
Hiraoka R.
;
Tsuchiya T.
;
Tabata O.
;
Klaumunzer M.
;
Voigt M.
;
Peukert W.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Nanogap;
Nanoparticle;
Plasmon;
Self-Assembly;
26.
The integration of CNTs-based flexible tactile sensor and flexible circuit by polymer molding process
机译:
基于CNTS的柔性触觉传感器和柔性电路通过聚合物成型工艺集成
作者:
Hu Chih-Fan
;
Su Wang-Shen
;
Fang Weileun
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Carbon nanotubes (CNTs);
flexible print circuit (FPC);
flexible tactile sensor;
27.
Design and implementation of an extremely large proof-mass CMOS-MEMS capacitive tilt sensor for sensitivity and resolution improvement
机译:
用于灵敏度和分辨率改进的极大校样CMOS-MEMS电容倾斜传感器的设计与实现
作者:
Chang Chun-I
;
Tsai Ming-Han
;
Liu Yu-Chia
;
Sun Chih-Ming
;
Fang Weileun
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
CMOS-MEMS;
bulk solder ball;
tilt sensor;
28.
New trends of MEMS/NEMS based on heterogeneous process integration - Towards life/green innovation -
机译:
基于异构过程集成的MEMS / NEM的新趋势 - 走向生命/绿色创新 -
作者:
Fujita Hiroyuki
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
29.
Ozone senosr using ZnO based film bulk acoustic resonator
机译:
臭氧传感器采用ZnO基薄膜散装声谐振器
作者:
Wang Z.
;
Qiu X.
;
Tang R.
;
Oiler J.
;
Zhu J.
;
Huang H.
;
Wang H.
;
Shi J.
;
Yu H.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
FBAR;
Ozone sensor;
ZnO;
30.
Flexible polymer humidity sensor fabricated by inkjet printing
机译:
喷墨印刷制造的柔性聚合物湿度传感器
作者:
Starke E.
;
Turke A.
;
Krause M.
;
Fischer W.-J.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
humidity sensor;
inkjet printing;
sensitive polymer layer;
silver neodecanoate;
31.
High-performance protein preconcentrator using microchannel-integrated nafion strip
机译:
高性能蛋白质预融合器采用微通道综合Nafion条带
作者:
Yang H.
;
Shen M.
;
Sivagnanam V.
;
Gijs M. A. M.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Nafion;
Protein preconcentrator;
electrokinetic trapping;
microfluidics;
32.
High performance 18F- concentration electrode for PET application by using interdigitated microstructure and pyrolyzed polymer/glassy carbon composite
机译:
通过使用互分配的微观结构和热解聚合物/玻璃碳复合材料,高性能 18 sup> f - sup>浓缩电极,用于PET施用和热解
作者:
Akazawa A.
;
Furuno Y.
;
Saiki H.
;
Ozeki E.
;
Konishi S.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
lt;
supgt;
18lt;
/supgt;
F;
Interdigitaed array electrode;
PET;
Pyrolyzed polymer;
33.
A microfabricated preconcentrating device for exhaled breath analysis
机译:
用于呼出呼气分析的微制造预浓缩装置
作者:
Li M.
;
Biswas S.
;
Nantz M. H.
;
Higashi R. M.
;
Fu X. A.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Breath analysis;
FT-ICR-MS;
Ketones and aldehyde;
Microreactor;
Preconcentrator;
34.
Development of a strain sensor for rolling contact loads
机译:
开发用于滚动接触载荷的应变传感器
作者:
Winkelmann C.
;
Woitschach O.
;
Meyer E.-M.
;
Lang W.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Roller bearing;
Rolling contact load;
bearing;
sensor;
smart bearing;
strain sensor;
35.
Interferometric modulators using mechanically coupled mirror actuators for color reproduction
机译:
干涉测量调节器使用机械耦合镜致动器进行色彩再现
作者:
Han W.
;
Cho Y.-H.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Interferometric modulator;
color display;
mirror;
36.
Efficient electrostatic inchworm motors with simple control and high force density
机译:
高效的静电颈动机,具有简单的控制和高力密度
作者:
Penskiy Ivan
;
Gerratt Aaron P.
;
Bergbreiter Sarah
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Electrostatic;
flexible arm;
gap closing actuator;
inchworm;
37.
Switchable photonic crystals based on the photonic deformations of the azobenzene containing liquid crystal polymer
机译:
基于含有液晶聚合物的偶氮苯的光子变形的可切换光子晶体
作者:
Yan Z.
;
Yu Y.L.
;
Ji X.M.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
azobenzene;
photo-induced deformation;
photonic crystals;
switchable;
38.
Design, fabrication, and vacuum package process for high performance of 2D scanning MEMS micromirror
机译:
用于高性能的2D扫描MEMS微镜的设计,制造和真空封装工艺
作者:
Chu H.M.
;
Sasaki T.
;
Hane K.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
2D MEMS micromirror;
air damping;
and vacuum package process;
39.
Spontaneous oscillation due to charging effect in MEMS RF switches
机译:
由于MEMS RF开关中的充电效果导致的自发振荡
作者:
Chen Y.-C.
;
Ishida T.
;
Toshiyoshi H.
;
Chen R.
;
Fujita H.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
MEMS-opposing-tip device;
Qucs equivalent circuit model;
RF MEMS switch;
Spontaneous oscillation;
40.
A bistable shape memory microvalve for three-way control
机译:
用于三通控制的双稳态形状存储器微型阀
作者:
Megnin C.
;
Barth J.
;
Kohl M.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
SMA actuation;
bistable switching;
microvalve;
three-way flow control;
41.
Piezoelectric micro-scale tuning fork resonators for sensing applications
机译:
用于传感应用的压电微级调谐叉谐振器
作者:
Gil M.
;
Manzaneque T.
;
Hernando-Garcia J.
;
Ababneh A.
;
Seidel H.
;
Sanchez-Rojas J. L.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
42.
High-performance surface-tension-driven capillary pumping based on layer-by-layer self assembly of TiO
2
nanoparticles
机译:
基于TiO
2 INF>纳米粒子的逐层自组装的高性能表面张力驱动的毛细管泵送
作者:
Zhang T.
;
Cui T.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Layer-by-layer self-assembly;
Micropumping;
Surface-tension-driven capillary;
TiOlt;
infgt;
2lt;
/infgt;
nanoparticles;
43.
Retinal implants to restore vision in blind people
机译:
视网膜植入物恢复盲人的视觉
作者:
Mokwa Wilfried
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
44.
Integrated silicon-based chemical microsystem for portable sensing applications
机译:
用于便携式传感应用的集成硅化学微系统
作者:
Demirci K.S.
;
Beardslee L.A.
;
Truax S.
;
Su J.-J.
;
Brand O.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
CMOS ASIC;
Chemical microsystem;
Mass-sensitive sensor;
Silicon-based resonant sensor;
45.
Densely packed carbon nanotube forest on silicon substrate for MEMS supercapacitor applications
机译:
用于MEMS超级电容器应用的硅基衬底上密集包装碳纳米管林
作者:
Jiang Y.
;
Lin L.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
CNT;
CNT Forest;
Energy Storage;
Liquid Densification;
Supercapacitor;
46.
Mixed-level modeling of squeeze film damping in MEMS: Simulation and pressure-dependent experimental validation
机译:
MEMS中挤压膜阻尼混合级模拟:仿真和压力依赖性实验验证
作者:
Niessner M.
;
Schrag G.
;
Iannacci J.
;
Wachutka G.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Squeeze film damping;
experimental validation;
modeling;
rarefaction;
47.
Biocompatible AlN-based piezo energy harvesters for implants
机译:
用于植入物的生物相容的ALN压电能量收割机
作者:
Heidrich N.
;
Knobber F.
;
Sah R.E.
;
Pletschen W.
;
Hampl S.
;
Cimalla V.
;
Lebedev V.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
AlN;
piezoelectric energy harvesting;
stress;
48.
Lens scanning based MEMS catheter for forward endoscopic optical coherence tomography
机译:
基于镜头扫描基于MEMS导管,用于前进内窥镜光学相干断层扫描
作者:
Park H. C.
;
Song C.
;
Jeong K. H.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Endoscopic catheter;
Lens scanner;
Micro-optical bench;
Optical Coherence Tomography (OCT);
Spectral Domain Optical Coherence Tomography (SD-OCT);
49.
Isolation of tumor cells using a new microfluidic incubator with moving-wall structures
机译:
使用具有移动壁结构的新型微流体培养箱分离肿瘤细胞
作者:
Chuang Ying-Hsin
;
Hung Lien-Yu
;
Hsu Keng-Fu
;
Chou Cheng-Yang
;
Lee Gwo-Bin
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
microfluidics;
moving-wall structures;
tumor cell;
50.
Room-temperature wafer-level vacuum sealing by compression of high-speed wire bonded gold bumps
机译:
房间 - 温度晶片级真空密封通过压缩高速线粘合金凸块
作者:
Antelius M.
;
Fischer A. C.
;
Roxhed N.
;
Stemme G.
;
Niklaus F.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
MEMS;
packaging;
room temperature;
vacuum sealing;
wire bonding;
51.
Programmable transformation of vertically aligned carbon nanotubes into 3D microstructures
机译:
垂直对准碳纳米管转化为3D微结构的可编程转化
作者:
De Volder M.
;
Tawfick S.
;
Park S.J.
;
Copic D.
;
Hart A.J.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Capillary;
Carbon nanotube (CNT);
Self-Assembly;
Three-dimensional;
52.
Improved reliability of SiC pressure sensors for long term high temperature applications
机译:
改进了长期高温应用的SiC压力传感器的可靠性
作者:
Okojie R.S.
;
Nguyen V.
;
Savrun E.
;
Lukco D.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
High Temperature;
Offset Voltage Drift;
Pressure Sensor;
Reliability;
Silicon Carbide;
53.
A long-term reliability analysis of a creep-immune RF-MEMS tunable capacitor
机译:
蠕变免疫RF-MEMS可调电容器的长期可靠性分析
作者:
Ogawa Etsuji
;
Masunishi Kei
;
Ikehashi Tamio
;
Saito Tomohiro
;
Yamazaki Hiroaki
;
Tomizawa Yasushi
;
Sugizaki Yoshiaki
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Norton's law;
RF-MEMS;
brittle material;
creep;
electrostatic actuator;
tunable capacitor;
54.
Light-directed migration of D. discoideum slugs in microchannels
机译:
D. Dumonoidum Slugs在微通道中的光迁移
作者:
Kim J.
;
Ennis H.
;
Nguyen T.
;
Kessin R.
;
Stojanovic M.
;
Lin Q.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Dictyostelium discoideum;
microactuators;
microchannels;
phototaxis;
slug;
55.
A CMOS wireless two-axis digital accelerometer using bondwire inertial sensing
机译:
CMOS无线双轴数字加速度计使用键合惯性传感
作者:
Liao Y.-T.
;
Shi J.
;
Otis B.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Inertial sensor;
accelerometer;
bondwire;
inductance sensitivity;
oscillator;
wireless transmitter;
56.
Single-step fabrication of organic nanofibrous membrane for piezoelectric vibration sensor
机译:
压电振动传感器有机纳米纤维膜的单步制造
作者:
Zheng G.F.
;
Wang X.
;
Li W.W.
;
Lei T.P.
;
Tao W.
;
Du J.
;
Qiu Q.Y.
;
Chi X.G.
;
Sun D.H.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Electrospinning;
Piezoelectric Nanofiber;
Single-Step Fabrication;
Vibration Sensor;
57.
Photodiode with micro texture for improving sensitivity at large angle of incidence for particle sensors
机译:
具有微观纹理的光电二极管,用于提高粒子传感器的大型入射角的灵敏度
作者:
Isozaki A.
;
Kuwana K.
;
Tomimatsu Y.
;
Itoh T.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Inverse-tapered shape;
Micro texture;
Particle sensor;
Photodiode;
58.
Electrical connection using submicron porous gold bumps for wafer-level packaging of mems using anodically-bondable LTCC wafer
机译:
电气连接使用亚比亚多孔金凸块,用于使用巧合的LTCC晶片的MEMS的晶片级包装
作者:
Tanaka Shuji
;
Mohri Mamoru
;
Ogashiwa Toshinori
;
Fukushi Hideyuki
;
Tanaka Katsunao
;
Nakamura Daisuke
;
Nisimori Takashi
;
Esashi Masayoshi
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Anodic bonding;
Au bump;
LTCC wafer;
Packaging;
59.
Ultra-compact electro-thermally tunable photonic crystal prism for on-chip optical router application
机译:
用于片上光学路由器应用的超紧凑电热可调光子晶振
作者:
Choi K.-H.
;
Cui Y.
;
Liu K.
;
MacFarlane D.
;
Lee J.-B.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Photonic crystals;
superprism;
thermo-optic effect;
60.
Optial measurement of strain using scattering from nanoparticle pairs on elastomer
机译:
弹性体上纳米颗粒对散射的应变光学测量
作者:
Kan T.
;
Matsumoto K.
;
Shimoyama I.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Local Surface Plasmon Resonance;
Nano gap;
Nano-disk pair;
Scattering;
Strain;
61.
Power enhancement of micro thermoelectric generators by micro fluidic heat transfer packaging
机译:
微型流体传热包装微电发电机电力增强
作者:
Wojtas N.Z.
;
Schwyter E.
;
Glatz W.
;
Kuhne S.
;
Escher W.
;
Hierold C.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Thermoelectric power generation;
heat transfer resistance;
micro fluidic packaging;
micro heat transfer systems;
62.
Electrical catching and transfer of nanoparticles via nanotip silicon probe arrays
机译:
纳米坡硅探针阵列的电气捕捉和纳米颗粒的转移
作者:
Goryu A.
;
Ikedo A.
;
Ishida M.
;
Kawano T.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
DNA;
Nanoinjector;
Nanoparticle;
Nanoprobe array;
63.
MEMS silicon-based resistojet micro-thruster for attitude control of nano-satellites
机译:
基于MEMS硅基抗蚀剂微型推进器,用于纳米卫星的姿态控制
作者:
Mihailovic M.
;
Mathew T.V.
;
Creemer J.F.
;
Zandbergen B.T.C.
;
Sarro P.M.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
micro propulsion;
resistive heating;
space;
64.
A micro energy harvester with 3D wire bonded microcoils
机译:
带3D线粘合微罩的微能收割机
作者:
Cepnik C.
;
Wallrabe U.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Electromagnetic energy harvesting;
micro energy harvester;
wire bonded microcoil;
65.
Epoxy-less packaging methods for electrical contact to parylene-based flat flexible cables
机译:
较少的封装方法,用于与基于聚苯甲烯的扁平柔性电缆的电接触
作者:
Gutierrez Christian A.
;
Lee Curtis
;
Kim Brian
;
Meng Ellis
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Parylene C;
flat flexible cable (FFC);
screen printing;
zero-insertion-force (ZIF);
66.
Letter from the chairs
机译:
椅子上的信
作者:
Shanhong Xia
;
Minhang Bao
;
Long-Sheng Fan
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
67.
A microfluidic control system with re-usable micropump/valve actuator and injection moulded disposable polymer lab-on-a-slide
机译:
具有可重新使用的微泵/阀门致动器和注射成型一次性聚合物实验室的微流体控制系统
作者:
Bu Minqiang
;
Perch-Nielsen Ivan R.
;
Sun Yi
;
Wolff Anders
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Disposable lab-on-a-slide;
Micropump and microvalve;
Re-usable actuator;
injection moulding;
ultrasonic welding;
68.
Time-dependent cell membrane damage under mechanical tension: Experiments and modeling
机译:
机械张力下的时间依赖性细胞膜损伤:实验和建模
作者:
Lu Bo
;
Chang Jay Han-Chieh
;
Tai Yu-Chong
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Cancer Cell;
Filtration;
Membrane Tension;
69.
Micromechanical olfactory system for sensitive and selective detection of explosives
机译:
用于敏感和选择性检测爆炸物的微机械嗅觉系统
作者:
Hwang K.S.
;
Lee M.H.
;
Han J.K.
;
Kim T.S.
;
Kang J.Y.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Microcantilever;
Olfactory system;
Peptide;
Resonant frequency;
70.
Tunable photonic crystal with 50 nanometer tuning range and 100 millisecond response time
机译:
可调谐光子晶体,50纳米调谐范围和100毫秒的响应时间
作者:
Chan C.T.
;
Yeh J.A.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Capillary action;
porous silicon;
surface tension;
tunable photonic crystal;
71.
Gold membranes with large arrays of sub-#x03BC;m holes fabricated by wafer-scale Nanosphere Lithography
机译:
具有大阵列的亚&#x03bc的金膜; M孔由晶圆级纳米光刻制造
作者:
Klein M. J. K.
;
Eckert R.
;
Guillaumee M.
;
Dunbar L. A.
;
Heinzelmann H.
;
Brugger J.
;
Pugin R.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Nanosphere Lithography;
extraordinary optical transmission;
gold membranes;
hole arrays;
sub-wavelength holes;
surface plasmons;
72.
Manipulation of electrical charge of proteins for sensitive biosensing using field-effect transistors
机译:
使用场效应晶体管操纵蛋白质电荷的蛋白质电荷
作者:
Goda T.
;
Miyahara Y.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
field-effect transistor;
post-translational modification;
potentiometry;
protein;
surface net-charge;
73.
High-efficiency blood separation utilizing spiral filtration microchannel with gradually varied width
机译:
利用螺旋过滤微通道的高效血液分离,逐渐变化宽度
作者:
Ju Y.R.
;
Geng Z.X.
;
Zhang L.Q.
;
Wang W.
;
Li Z.H.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Centrifugation;
Microfluidic;
Plasma;
Separation;
74.
Wafer-level fabrication of nanoscale patterned sapphire substrates with broadband optical transmittance
机译:
具有宽带光学透射率的纳米级图案蓝宝石基板的晶圆级制造
作者:
Lin Yu-Sheng
;
Yeh J. Andrew
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Patterned sapphire;
broadband transmittance;
75.
Reducing stiction in Microelectromechanical Systems by nanometer-scale films grown by atomic layer deposition
机译:
用原子层沉积生长的纳米级膜在微机电系统中减少微机电系统
作者:
Puurunen R.L.
;
Haara A.
;
Ritala H.
;
Dekker J.
;
Kainlauri M.
;
Pohjonen H.
;
Suni T.
;
Kiihamaki J.
;
Santala E.
;
Leskela M.
;
Kattelus H.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Allt;
infgt;
2lt;
/infgt;
Olt;
infgt;
3lt;
/infgt;
Atomic layer deposition;
MoN;
TiOlt;
infgt;
2lt;
/infgt;
cantilever beam array;
stiction;
76.
A millimeter-sized electret-energy-harvester with microfabricated horizontal arrays and vertical protrusions for power generation enhancement
机译:
具有微制造水平阵列的毫米尺寸的驻极体 - 能量收割机和用于发电增强的垂直突起
作者:
Ono K.
;
Sato N.
;
Shimamura T.
;
Ugajin M.
;
Sakata T.
;
Mutoh S.
;
Sato Y.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
amp;
x201C;
Slit-and-slideramp;
x201D;
structure;
Electret;
Energy harvesting;
MEMS;
Vibration;
77.
Optofluidics
机译:
Optofluidics.
作者:
Psaltis Demetri
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
78.
Individually-addressable parylene microneedle arrays with integrated microchannels for retinal prosthesis study
机译:
具有集成微通道的可单独寻址的Parylene MicroneedLe阵列,用于视网膜假体研究
作者:
Tu H.
;
Li Y.
;
Finlayson P.
;
Iezzi R.
;
Xu Y.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Individually-addressable;
Parylene Microneedle;
79.
Enhanced micro-droplet splitting, concentration, sensing and ejection by integrating ElectroWetting-On-Dielectrics and Surface Acoustic Wave technologies
机译:
通过集成电润湿接通电介质和表面声波技术,增强微液滴分离,浓缩,感测和喷射
作者:
Li Y.
;
Fu Y.Q.
;
Brodie S.D.
;
Alghane M.
;
Walton A.J.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Digital Microfluidics (DMF);
Droplet;
EWOD;
Microfluidic;
SAW;
80.
Enhanced electro-mechanical performance of TiO
2
nano-particle modified polydimethylsiloxane (PDMS) as electroactive polymers
机译:
提高TiO
2 INF>纳米颗粒改性聚二甲基硅氧烷(PDMS)的电力机械性能作为电活性聚合物
作者:
Ouyang G. M.
;
Wang K. Y.
;
Chen X. Y.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
EAP;
Electro-mechanical;
Nano-composite;
PDMS;
Tunable gratings;
81.
A high-throughput fully-automated microfluidic live cell array for combination drug treatment analysis of colorectal cancer cells
机译:
用于结直肠癌细胞的组合药物治疗分析的高通量全自动微流体活细胞阵列
作者:
Wang H.
;
Kim J.
;
Jayaraman A.
;
Cypert M.
;
Hua J.
;
Bittner M.
;
Han A.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
High-throughput screening (HTS);
colorectal cancer cell;
combination drug treatment;
microfluidic live cell array;
82.
Gan comb-drive actuators on Si substrate
机译:
Si衬底上的GaN梳驱动致动器
作者:
Tanae T.
;
Samashima H.
;
Hane K.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Comb actuator;
GaN;
GaN on Si;
Monolithic Integration;
Residual stress;
83.
Electroluminescence from a freestanding integratable single ZNO dot
机译:
来自独立Integratable单个ZnO点的电致发光
作者:
Jiang Cheng
;
Yoshimizu Norimasa
;
Han Jun Hyun
;
Lal Amit
;
Lee Chung Hoon
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Electroluminescence;
LED;
Single Dot;
ZnO;
84.
A CMOS compatible polycrystalline silicon-germanium based piezoresistive pressure sensor
机译:
CMOS兼容多晶硅锗基压阻式压力传感器
作者:
Gonzalez P.
;
Guo B.
;
Severi S.
;
De Meyer K.
;
Witvrouw A.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Poly-SiGe;
piezoresistivity;
pressure sensor;
85.
Frequency-multiplexed combinatory mass sensing with single data line from multiple integrated film bulk acoustic resonators
机译:
具有多集成胶片散装声谐振器的单数据线的频率多路复用组合体重感应
作者:
Chen S.J.
;
Lin A.
;
Wang L.
;
Kim E.S.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
FBAR;
Film bulk acoustic resonator;
mass sensing;
86.
Silicon retainer ring integration in micro-turbine with thrust ball bearing support mechanism
机译:
带钢轴承支撑机构的微型涡轮机中的硅保持环集成
作者:
Hergert R. J.
;
Hanrahan B.
;
Holmes A. S.
;
Ghodssi R.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Micro turbine;
micro ball bearing;
rotary MEMS;
87.
Dielectrophoresis formation of ellipsoidal PDMS micro-lens array diagonally aligned on flexible membrane
机译:
椭圆形PDMS微透镜阵列对柔性膜上对齐的介电泳形成
作者:
Wang Y.-C.
;
Tsai Y.-C.
;
Shih W.-P.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Ellipsoidal micro-lens array;
PDMS;
88.
On-chip RF inductors with magnetic nano particles medium
机译:
片上射频电感器,具有磁性纳米粒子介质
作者:
Yang C.
;
Koh K.
;
Zhu X.
;
Lin L.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Inductor;
Magnetic Medium;
Nano Particle;
RF-MEMS;
89.
Electrical performance optimization of a silicon-based EUV photodiode with near-theoretical quantum efficiency
机译:
近乎理论量子效率的硅基EUV光电二极管的电气性能优化
作者:
Shi L.
;
Nanver L. K.
;
Laubis C.
;
Scholze F.
;
Nihtianov S.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Extreme-Ultraviolet;
dark current;
photodiode;
response time;
responsivity;
series resistance;
ultrashallow junctions;
90.
In situ wafer-level polarization of electret films in MEMS acoustic sensor arrays
机译:
在MEMS声学传感器阵列中的驻极体膜的原位晶片级极化
作者:
Kranz M.
;
Allen M.G.
;
Hudson T.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Electret;
Microcorona;
Microplasma;
Ultrasonic;
91.
A novel stress isolation guard ring design for the improvement of three-axis piezoresistive accelerometer
机译:
一种新型应力隔离罩环设计,用于改进三轴压阻加速度计
作者:
Hsieh Hsieh-Shen
;
Chang Heng-Chung
;
Hu Chih-Fan
;
Cheng Chao-Lin
;
Fang Weileun
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
3-axis Piezoresistive Accelerometer;
Package Effect;
Stress Isolation;
92.
Energy harvesting from a rotating gear using an impact type piezoelectric MEMS scavenger
机译:
使用冲击式压电MEMS清除剂从旋转齿轮收集能量
作者:
Janphuang P.
;
Isarakorn D.
;
Briand D.
;
de Rooij N.F.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Impact energy harvesting;
MEMS;
PZT;
piezoelectric;
rotating gear;
93.
Microfabrication and packaging of a Rubidium vapor cell as a plasma light source for MEMS atomic clocks
机译:
用于MEMS原子钟的铷蒸气池的微制造和包装作为等离子体光源
作者:
Venkatraman V.
;
Petremand Y.
;
Affolderbach C.
;
Mileti G.
;
de Rooij N.
;
Shea H.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Plasma light source;
anodic bonding;
chip-scale atomic clocks;
rubidium;
94.
A novel test method for simultaneous measurement of thermal conductivity, CTE, residual stress and Young's modulus of suspended thin films using a laser doppler vibrometer
机译:
一种新的试验方法,用于使用激光多普勒振动计同时测量热导率,CTE,残余应力和悬浮薄膜的杨氏模量
作者:
De Coster J.
;
Lofrano M.
;
Jansen R.
;
Rottenberg X.
;
Severi S.
;
Borremans J.
;
Van der Plas G.
;
Donnay S.
;
Tilmans H.A.C.
;
De Wolf I.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Laser doppler vibrometer;
Young's modulus;
coefficient of thermal expansion;
material properties measurement;
residual stress;
thermal conductivity;
95.
#x2018;Pickup and place#x2019; integration method of bridging carbon nanotubes by stamping transfer
机译:
‘皮卡和地方’ 冲压转移桥接碳纳米管的整合方法
作者:
Takei Yusuke
;
Matsumoto Kiyoshi
;
Shimoyama Isao
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
CVD;
PDMS;
carbon nanotube;
raman spectrum;
stamping;
96.
A functional microprobe integrated with sharp tip and huge deflection crank-slider structural cantilever for versatile instrument
机译:
具有尖锐尖端和巨大偏转曲柄滑块结构悬臂的功能性微探网,用于多功能仪器
作者:
Chen X.
;
Lee D.W.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Huge deflection;
Microcantilever;
Microprobe;
97.
Capacitive detection of nanoliter droplets on the fly - investigation of electric field during droplet formation using CFD-simulation
机译:
用CFD模拟在液滴形成期间电场飞行液滴电容检测
作者:
Mutschler K.
;
Ernst A.
;
Paust N.
;
Zengerle R.
;
Koltay P.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
CFD-Simulation;
Non-contact nanolitre dispensing;
capacitive coupling;
detection of nanolitre droplets;
multi-physics simulation;
98.
Electrostatic torsional vertical flaps for reflective MEMS display
机译:
反射MEMS显示的静电扭转襟翼
作者:
Jutzi F.
;
Noell W.
;
de Rooij N. F.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
electrostatic actuation;
low voltage;
micromirror;
reflective display;
shutter;
99.
Modulated electro-mechanical continuous-time lowpass sigma-delta-modulator for micromachined gyroscopes
机译:
用于微机械陀螺仪的调制电力连续时间低通Σ-Δ调制器
作者:
Rombach S.
;
Northemann T.
;
Maurer M.
;
Dienger M.
;
Manoli Y.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
amp;
x03A3;
amp;
x0394;
-Modulator;
Continuous-Time;
Force-Feedback;
Low-Power;
Lowpass-Gyroscope;
Modulation;
100.
Power switch system based on Microelectromechanical switch
机译:
基于微机电开关的电源开关系统
作者:
Li B.
;
Keimel C.
;
Claydon G.
;
Park J.
;
Corwin A.D.
;
Aimi M.
会议名称:
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2011年
关键词:
Microelectromechanical switch;
electrical protection;
power switch;
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