キャピラリーによるイオンビームの収束

摘要

ワイヤーボンディング用ルビーキャピラリーを用いて，rnAr~＋・加速エネルギー4keV・ビーム電流密度3×10~（-6）A/rncm~2と，比較的低エネルギー・高密度のイオンビームを，安rn定にキャピラリーを通過させられることが分った．また，イrnオンビームをキャピラリーに通すと，多量の二次電子が生ずrnることが分り，ファラデーカップによる正イオンビームの計rn測では，正のバイアス電位をかける通常の計測手法と逆に，rn負のバイアス電位をかけなければならないことが分かった．rn今後の課題として，出口径の小さいキャピラリーにイオンrnビームを安定に通す為には，キャピラリ－内で生じている現rn象の解析と照射ビームの最適化が必要と考える．