コンビナトリアル手法に適合するⅩ線光電子分光（XPS）装置（PHI Quantera Ⅱ）

摘要

PHI QuanteraⅡは，上述のように，多試料の同一条件測rn定を実行でき，最小7．5μmの微小領域測定能力，32チャンrnネル検出器による高感度なXPS測定，大型の試料ホルrnダー，自動測定，定量性の考慮，自動解析磯能を有しているrnほか，測定時に利便性の高い自動中和，自動試料搬送・移rn動，自動最適測定位置制御横能も備え，高速分析が可能であrnる．