International Vacuum Congress (IVC-20)の会議報告電子材料·プロセス（EMP)/先進半導体とディスプレイデバイス（ASDD)/真空科学技術（VST)

摘要

電子材料·プロセス（Electronic Material and Processing, EMP)の1日目のセッションは，太陽電池，有機EL·有 機エレクトロニクス，透明電極とキャリア輸送，強誘電体と スピントロニクスという4セッショソが並行して行われ た.筆者は，EMPと先進半導体とディスプレイデバイス (Advanced Semiconductor and Display Devices, AaOD)の 合同セッションである有機EL •有機エレクトロニクス PART1(前半）のセッションに参加した.本セッションで は，有機EL照明のためのロールトウロールプロセス（招待 講演），水蒸気パリア性評価，量子ドットの講演3件，原子 層堆積（ALD)による水蒸気バリア製膜に関する発表があ つた.これら技術は，フレキシブルなテレビや照明，スマー トフオンは元より，ウェアラブルデバイスとしての応用が盛 んに検討されている.研究室レベルの試作品はすでに出来て おり，大量生産に移行する段階にあるようだ.著者による日 本の発表1件を除いて，他の発表の全てが韓国の大学-研 究所による発表であり，韓国における当該分野の注目の高さ が伺われた.一方で，聴衆は20名〜30名と席はやや疎らな 印象であった.有機EL •有機エレクトロニクスPART2 (後半）のセッションでは，アメリカ，台湾，中国，韓国か らの発表があった.