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机译:自润滑SU-8纳米复合材料,用于微机电系统
Department of Mechanical Engineering National University of Singapore">(1);
Department of Mechanical Engineering National University of Singapore">(1);
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Lubrication; Polymer; Self-lubrication; MEMS;
机译:自润滑SU-8纳米复合材料,用于微机电系统
机译:SU-8薄膜通过变化的有效长宽比进行机械表征,用于微机电系统
机译:基于鲁棒SU-8掩模层的新型微机电系统图像反转制造工艺
机译:火花等离子体烧结ZrO {Sub} 2(Y {Sub} 2O {Sub} 3)-al {sub} 2o {sub} 3-srso {sub} 4用于高温摩擦学应用的自润滑纳米复合材料
机译:用于微机电系统的电合成纳米复合材料。
机译:用于重力测量的微机电系统加速度计的新型电容传感系统设计
机译:适用于微机电系统(MEMS)应用的自润滑SU-8复合材料的摩擦学