ガラス成形金型用Ptフリーアモルファス合金のコンビナトリアル探索

摘要

筆者らは，結晶粒が存在しないため，本質的に精密?rn微細切削が可能であるアモルファス合金を，回折格子rn付きの非球面ガラスレンズなどの微細構造を有するガrnラス成形金型材料として適用することを検討している．rnこのような材料を探索する手法として，筆者らが金属rn材料のコンビナトリアル探索（多数のサンプル作製とrnその系統的評価を特徴とする探索）用に開発した，コrnンビナトリアルアークプラズマ蒸着（Combinatorial Arc Plasma deposition:CAPDD)rnを使用し，Pt-Hf-Zr-NirnPt-Zr-NI系のアモルファス合金を見出してきた．